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无油真空泵-所谓真空是指在给定的空间内，压力低于101325Pa的气体状态。在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，该压力值越小则表示气体越稀薄。工业上有各种各样的真空泵，对于各种泵的性能都有规定的测试方法来检验，主要参数有：
1、抽气速率:在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体体积。传统工业用真空泵体积普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和润滑机油，介质气体内会含有大量油雾。
2、极限真空(通常称为真空度)：将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续抽气，当容器内的气体压力不再下降而维持某一定值时，此压力称为泵的极限真空。该值越小则表明越接近理论真空。
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