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1.由于精度要求比较高，在维修前需要认真检测，不是非常必要则不必拆开,以免检修不当,降低精度。当然涉及部分零部件性能变差或者零部件配套间隙变异时，需要对其进行调整。
2.在维修时，需要按部就班，不可硬拆、强拆。并要求对拆卸的泵浦零部件进行排序标示，一边装配时运用。例如莱宝真空泵维修，可以按照先拆卸电机，联轴器，端盖、取出主轴等顺序方法进行。但不管哪种泵浦在装配时都必须保证零部件的干燥与清洁。
3.总装配。零部件和各真空室分别装好后,要试使其转动一下,要保证其无阻滞绞绊现象。待Z上面的前端盖装好后,即可从上向下穿入拉紧螺栓,拉紧后即可将机座放平。调整各真空室的进气管,使其在同一平面上,然后把拉紧螺栓拧紧,并试转动连接杆,其转力矩应小于100公斤/公分,且无严重的局部阻滞感。Z后装好排气阀门、单向阀等。这时可转动链轮。这样各机座就已装配完毕。 Z后按前述拆泵时相反次序装配箱体部分。注意保证密封处不准漏气，油密封室亦不准漏油。
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